半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣處理
半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣處理
隨著科技的發(fā)展,目前市場(chǎng)上新材料行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比,其應(yīng)用范圍更廣了,新材料產(chǎn)業(yè)的研究與開發(fā)投入高,產(chǎn)品的附加值高在生產(chǎn)與市場(chǎng)的***際性強(qiáng),而且新材料半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展前景***。
而新材料半導(dǎo)體行業(yè)在加工的過程中采用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑,這些溶劑中含有***量的有機(jī)物成分,在整個(gè)工藝加工的過程中將會(huì)有部分的有機(jī)溶劑***部分通過揮發(fā)成為廢氣排放,這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs,下面講解一下關(guān)于:新材料半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣應(yīng)該怎么處理。
新材料半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣除了含有VOCs以外,還混有HCl、氨、HF等危險(xiǎn)污染物,宏森環(huán)保采用的是RTO蓄熱式焚燒爐來處理半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣:
工業(yè)廢氣中主要含有酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體四種,自身具有的溶解***性,半導(dǎo)體工業(yè)的氣體雖然排放量***,但是氣體的濃度低。
RTO設(shè)備采用的是高溫破壞焚燒的廢氣治理技術(shù),升溫能源一般是電和天然氣,其高溫需高達(dá)700度或者以上,雖然溫度需高達(dá)700度左右,但是其實(shí)消耗的能源并不多,設(shè)備運(yùn)行期間部分的熱能是能夠回收重新利用的,降低能量消耗的同時(shí)提高了廢氣分子的燃燒反應(yīng)速率。